BURKERT毛細(xì)管傳感器作用,介紹寶得毛細(xì)管傳感器
主管道中的層流元件產(chǎn)生個必需的壓差，使小部分流量進(jìn)入旁路管道。
旁路管道內(nèi)壁上裝有帶膜硅芯片，用于測量流量。
采用 CMOS 傳感器技術(shù)，在這塊膜上有個加熱電阻和兩個對稱的
溫度傳感器（分別位于上游和下游）。
如使加熱電阻保持在個恒定溫度，
則兩個溫度傳感器的壓差即可用于測量旁路通道內(nèi)流過芯片的氣體的流量。
 該溫度傳感器的熱量低、與介質(zhì)直接接觸，因此具有許多特定的優(yōu)勢，
其中之就是對于流量變化的響應(yīng)極快。

BURKERT毛細(xì)管傳感器作用,介紹寶得毛細(xì)管傳感器

帶 CMOS 傳感器的 MFC 具有100 ms 的響應(yīng)時(shí)間，且靈敏度高，即使流量很小時(shí)也是如此。
與 CMOS 傳感器樣，毛細(xì)管傳感器也是采用層流元件來產(chǎn)生壓差，
使小部分流量進(jìn)入旁路管道。而主要區(qū)別在于：毛細(xì)管傳感器不與介質(zhì)直接接觸。
兩個溫度相關(guān)的電阻纏繞在不銹鋼毛細(xì)管上，構(gòu)成半個惠斯頓電橋。
當(dāng)氣體流過毛細(xì)管時(shí)，就會帶走部分熱量，流向?yàn)閺?R1 R2。
這時(shí)，R1 的阻值下降，而 R2 的阻值上升。
如果給電橋提供恒定的電流，其輸出電壓就與這兩個電阻的差值成正比。
因此該輸出電壓與流過的氣體的流量成線性關(guān)系。
其線性關(guān)系甚使該傳感器可用于未經(jīng)標(biāo)定的氣體：
通過采用個轉(zhuǎn)換因子對當(dāng)前介質(zhì)的測量值進(jìn)行修正。
這樣就可簡化標(biāo)定，同時(shí)正確選擇傳感器材質(zhì)可確保毛細(xì)管傳感器適用于腐蝕性氣體。